（5）uv光解法
通过采用uv-d 波段内的真空紫外线（波长范围 170-184.9nm），破坏有机废气分子的化学键，使之裂解形成游离状态的原子或基团（c*、h*、o*等）；同时通过裂解混合空气中的氧气，使之形成游离的氧原子并结合生成臭氧uv＋o2***o-+o＊(活性氧) o+o2***o3(臭氧)。具有强氧化性的臭氧（o3）与有机废气分子被裂解生成的原子发生氧化反应，形成 h2o 和 co2。整个反应过程不超过 0.1 秒，净化效果与废气分子的键能、废气浓度以及含氧量有关。整个净化过程无需添加任何化学助剂或者特殊---条件。
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热力燃烧法适合于处理浓度在1000—5000 mg/m3的废气，采用热力燃烧法，废气中vocs浓度较低，需要借助其他燃料或助燃气体，热力燃烧所需的温度较直接燃烧低，有机废气处理设备，大约为540—820℃。燃烧法处理vocs废气处理，但vocs废气若含有s、n等元素，有机废气处理设备，燃烧后产生的废气直接外排会导致二次污染。低温等离子的放电效果和空气的湿度有---的关系，有机废气处理设备，湿度越大能耗越大，大量能量会被水分子吸收，从而降低电离效果。使用低温等离子处理废气，
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